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2023年二季度，三星电子减持了ASML约0.9%股份，即354.77万股，持股比例由一季度末的1.6%降至0.7%。8月14日，三星电子（KRX：005930）在半年报中披露上述信息。以二季度均价估算，三星通过此轮减持套现约22亿欧元。

2012年，三星与ASML达成协议，三星将加入ASML针对下一代光刻机的客户共同投资计划，承诺此后5年为该研发项目提供2.76亿欧元的资金支持。同时，三星还以约5.03亿欧元购入ASML约1259.56万股股份，购入后持股比例约为3%。2016年三季度，三星首次减持ASML，售出了629.78万股ASML股份，占其当时持有ASML股份的一半。